半导体薄膜与纳米材料研究组

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地址:浙江省杭州市浙大路38号, 浙江大学玉泉校区曹光彪大楼332室

电话:0571-87952124

传真:0571-87952625

研究组仪器预约

为了更加高效的利用实验设备,经研究决定,本课题组成员使用扫描电子显微镜(SEM)、电子束蒸发系统(EBE)、光刻系统(photolithography)、荧光光谱(PL)时需要进行内部预约(请登录http://10.14.31.254/bbs集体生活栏目)。对外服务请登录“浙江大学大型仪器管理系统”预约使用。

1)扫描电子显微镜:形貌观察6min/个,能谱测试5min/个。如需喷金请提前处理。
        地点:曹光彪大楼129A房间
        使用时间:详见BBS最新公告

2)电子束蒸发系统及光刻系统:提供靶材:金、铂、镍、铝及二氧化硅。掩膜板均需自备。
        地点:曹光彪大楼339超净室
       
时间:全天

3) 荧光光谱仪:
        地点:985功能平台一楼
        时间:每周日和每周一全天,其余时间请咨询刘超。